5月20日|受相關傳聞影響,A股市場光刻機概念股集體拉升,截至半日收盤,中船特氣漲超13%,國風新材、晶方科技、張江高科10CM漲停,茂萊光學、蘇大維格漲超9%,杭華股份漲超8%,冠石科技、艾森股份漲超7%,華特氣體、瑞聯新材、廣立微漲超6%,東材科技、聯泓新科、安集科技、盛劍科技、晶瑞電材、國林科技、波長光電、強力新材、雅克科技漲超5%。