| 姓名 | 宗潤福 | 職務 | 榮譽董事長 |
| 性別/年齡 | 男/62 | 學歷 | 碩士 |
| 簡歷 | 宗潤福先生，1964年1月出生，中國國籍，無境外永久居留權，研究生學歷，電氣工程工業自動化專業，二級研究員，享受國務院政府特殊津貼，曾獲得國家科技重大專項突出貢獻獎、全國五一勞動獎章、遼寧省優秀新產品獎勵一等獎、遼寧省科學技術獎勵二等獎、遼寧省優秀專家、第六屆全國專業技術人才先進集體獎等多項殊榮。宗潤福先生自1988年5月至1993年9月，先後擔任中國科學院沈陽自動化研究所控制工程部工程師、造價組組長；1993年10月至1995年9月，擔任控制工程部副組長；1995年10月至1999年2月，擔任中國科學院沈陽自動化研究所控制工程部主任；1999年3月至2002年11月，擔任中國科學院沈陽自動化研究所科技處處長、室主任；2002年12月至2019年3月，任沈陽芯源微電子設備有限公司總經理、董事、董事長；2019年3月至2025年6月，任公司董事長兼總裁；2025年6月至今，任公司榮譽董事長、首席顧問。 |
| 姓名 | 董博宇 | 職務 | 董事長 |
| 性別/年齡 | 男/45 | 學歷 | 博士 |
| 簡歷 | 董博宇先生，1981年7月出生，中國國籍，無境外永久居留權，工學博士，研究員，中共北京市第十三屆委員會委員，曾獲得首都勞動獎章、國企楷模·北京榜樣、北京市勞動模範、北京市海外高層次人才、北京市科學技術進步一等獎、國家卓越工程師團隊等多項殊榮。現任中國半導體行業協會專家委員會委員、第三代半導體產業技術創新戰略聯盟青年創新促進委員會執行委員、西安電子科技大學兼職教授、北京市專家聯誼會理事、北京經濟技術開發區僑屆聯合會委員等；董博宇先生自2013年4月至2024年12月，先後擔任北方華創微電子裝備有限公司PVD事業單元技術經理、產品經理、產品總監、CVD事業單元總經理、副總裁、總裁；2024年12月至今任北方華創科技集團股份有限公司執行委員會委員、高級副總裁，北方華創微電子裝備有限公司董事長兼CEO。 |
| 姓名 | 李延輝 | 職務 | 非獨立董事 |
| 性別/年齡 | 男/48 | 學歷 | 碩士 |
| 簡歷 | 李延輝先生，1978年11月出生，中國國籍，無境外永久居留權，研究生學歷，工商管理碩士，高級會計師。曾任北京七星華創電子股份有限公司財務部部長、財務副總監、財務總監。現任北方華創科技集團股份有限公司執行委員會委員、首席財務官、中國半導體行業協會監事、北京產權交易所有限公司特聘專家。 |
| 姓名 | 鄧曉軍 | 職務 | 非獨立董事 |
| 性別/年齡 | 男/40 | 學歷 | 碩士 |
| 簡歷 | 鄧曉軍先生，1986年9月出生，中國國籍，無境外永久居留權，研究生學歷，工學碩士，高級工程師。曾獲得“北京市科學技術進步一等獎”等榮譽。2017年10月至2022年11月擔任北京北方華創微電子裝備有限公司CVD事業單元產品經理、產品總監；2022年11月至2025年4月擔任北京北方華創微電子裝備有限公司FEP事業單元副總經理；2025年4月至2025年6月擔任北京北方華創微電子裝備有限公司CEO OFFICE主任；2025年6月至今，擔任公司董事、執行委員會主席、核心技術人員。 |
| 姓名 | 黃鶴 | 職務 | 非獨立董事 |
| 性別/年齡 | 女/44 | 學歷 | 碩士 |
| 簡歷 | 黃鶴女士，1982年9月出生，中國國籍，無境外永久居留權，研究生學歷，國際金融專業。自2008年7月至2010年3月，為中天證券投資總部自營研究員；2011年5月至2014年7月，擔任沈陽創業投資管理集團投資部長；2014年8月至2016年10月，擔任沈陽富創精密設備有限公司經營管理部長；2019年7月至2020年5月，擔任遼寧華夏天通科技股份有限公司董事會秘書；2020年6月至今，先後擔任遼寧科發實業有限公司總經理助理、副總經理，現任法定代表人、董事兼總經理。2024年7月至今，擔任公司董事。 |
| 姓名 | 潘偉 | 職務 | 獨立董事 |
| 性別/年齡 | 男/70 | 學歷 | 博士 |
| 簡歷 | 潘偉先生，1956年11月出生，中國國籍，無境外永久居留權，工學博士，二級教授，享受國務院政府特殊津貼，曾獲日本東京大學Fellow、世界陶瓷科學院院士等殊榮。曾任清華大學教授、博士生導師、清華大學材料科學與工程系（材料學院）系主任、新型陶瓷與精細工藝國家重點實驗室主任等。現任清華大學-豐田公司聯合研究中心學術委員會委員、歐洲陶瓷學會國際顧問委員會委員、國際學術期刊《Coatings》主編。 |
| 姓名 | 李寶玉 | 職務 | 獨立董事 |
| 性別/年齡 | 男/63 | 學歷 | 本科 |
| 簡歷 | 李寶玉先生，1963年3月出生，中國國籍，無境外永久居留權，雙學士學位，高級會計師、中國注冊會計師，中國注冊會計師協會資深會員。1986年8月至1992年12月任沈陽飛機制造公司工學院企業管理教研室講師；1993年1月至1994年12月任東北國際投資有限公司項目經理；1995年1月至1998年12月任遼寧省財政廳會計師事務所項目經理；1999年1月至2007年12月任遼寧天健會計師事務所高級經理；2008年1月至2009年12月任萬隆亞洲會計師事務所遼寧分所副所長、所長；2010年1月至2013年5月任國富浩華會計師事務所合夥人、遼寧分所所長；2013年6月至2016年6月任沈陽桃李面包股份有限公司獨立董事；2013年6月至2019年12月任瑞華會計師事務所遼寧分所合夥人、瑞華會計師事務所IPO內核小組成員；2019年12月至2023年12月任中審眾環會計師事務所遼寧分所合夥人；2020年6月至2022年4月，任錦州康泰潤滑油添加劑股份有限公司獨立董事；2020年3月至今任遼寧東和新材股份有限公司獨立董事；2024年6月至今任北京鑫啟航管理咨詢有限公司法定代表人。 |
| 姓名 | 鐘宇 | 職務 | 獨立董事 |
| 性別/年齡 | 男/56 | 學歷 | 本科 |
| 簡歷 | 鐘宇先生，1970年1月出生，中國國籍，無境外永久居留權，大學本科學歷，經濟法專業，三級律師。1992年8月至1994年4月東北制藥集團沈陽第五制藥廠法務；1994年4月至1998年11月，遼寧騰達律師事務所律師；1998年11月至2002年4月，遼寧同文律師事務所律師、合夥人、副主任；2002年4月至今，北京隆安（沈陽）律師事務所律師、高級合夥人；2022年3月至今，擔任公司獨立董事。 |
| 姓名 | 王玉寶 | 職務 | 職工代表董事 |
| 性別/年齡 | 男/37 | 學歷 | 本科 |
| 簡歷 | 王玉寶先生，1989年11月出生，中國國籍，無境外永久居留權，本科學歷，熱能與動力工程專業。2012年7月至2022年2月曾任上汽通用（沈陽）北盛汽車有限公司工藝工程師、員工發展、業務夥伴經理、團委書記、總經理助理、業務規劃經理；2022年2月加入公司，先後擔任公司總裁辦公室主任、工會主席、黨委辦公室主任、總裁助理等職務；2025年6月至今，擔任公司工會主席、黨委辦公室主任、職工代表董事。 |